Yang Ya-Liang | National Nano Device Laboratory, 1001-1 Ta-Hsueh Rd., Hsinchu 300, Taiwan, R.O.C.

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National Nano Device Laboratory, 1001-1 Ta-Hsueh Rd., Hsinchu 300, Taiwan, R.O.C. | 論文

• Elimination of Dielectric Degradation for Chemical-Mechanical Planarization of Low-$k$ Hydrogen Silisesquioxane

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