JUNG Chan. | Semiconductor Research and Development Center, Samsung Electronics Co. Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• Semiconductor Research and Development Center, Samsung Electronics Co. Ltd.の論文著者

Semiconductor Research and Development Center, Samsung Electronics Co. Ltd. | 論文

• Control of Etch Slope during Etching of Pt in Ar /Cl_2 /O_2 Plasmas
• Effects of Conductivity of Polysilicon on Profile Distortion

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