Hozawa Kazuyuki | Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

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概要

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• 同名の論文著者
• Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japanの論文著者

関連著者

• OHKURA Makoto

  Hitachi Central Research Laboratory

• Takeda Kazuo

  Hitachi Central Research Laboratory

• Itoga Toshihiko

  Hitachi, Ltd., Hitachi Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

• Isomae Seiichi

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

• Ohkura Makoto

  Hitachi, Ltd., Displays, Mobara, Chiba 297-8622, Japan

• Hozawa Kazuyuki

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

著作論文

• New Technique to Determine Gettering Efficiency of Heavy Metals and Its Application to Carbon-Ion-Implanted Si Epitaxial Wafers

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