坂田 篤 | TOYOTA MACS Inc., Development Div. II.

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概要

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• TOYOTA MACS Inc., Development Div. II.の論文著者

TOYOTA MACS Inc., Development Div. II. | 論文

• Development of Photoelectron Microscope with Compact X-Ray Source Generated by Line-Focused Laser Irradiation
• テープターゲットを用いたレーザープラズマEUV光源による光電子分光装置の開発
• 25pB02 線集光型レーザープラズマX線源による光電子顕微鏡の開発(プラズマ応用, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 線集光X線光源からのデブリの分布の観察
• EUVリソグラフィ用光源装置の開発

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