Nakamura Shingo | Chemical Division, DAIKIN Industries, Ltd., 1-1 Nishi Hitotsuya, Settsu, Osaka 566-8585, Japan

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Chemical Division, DAIKIN Industries, Ltd., 1-1 Nishi Hitotsuya, Settsu, Osaka 566-8585, Japan | 論文

• Comparative Studies of Perfluorocarbon Alternative Gas Plasmas for Contact Hole Etch

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