Yamada Masao | Thin Film Technology Dept., Process Dev. Div., Fujitsu Ltd., 1015 Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki 211, Japan

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Thin Film Technology Dept., Process Dev. Div., Fujitsu Ltd., 1015 Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki 211, Japan | 論文

• Densified SiOF Film Formation for Preventing Water Absorption

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