Yamanaka Junji | Center for Crystal Science and Technology, Yamanashi University

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概要

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Center for Crystal Science and Technology, Yamanashi University | 論文

• Strain Relaxation and Induced Defects in SiGe Thin Films Grown on Ion-Implanted Si Substrates
• Strain-Field Evaluation of Strain-Relaxed Thin SiGe Layers Fabricated by Ion Implantation Method

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