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TSUJI Kazuhiko | Basic Research Loboratory, Semiconductor Research Center, Matsuchita Electric Industrial Co.,Ltd.
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Basic Research Loboratory, Semiconductor Research Center, Matsuchita Electric Industrial Co.,Ltd. | 論文
A High Integrity and Low Resistance Ti-Polycide Gate Using a Nitrogen Ion-Implanted Buffer Layer : Silicon Devices and Process Technologies(Solid State Devices and Materials 1)
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