Aoyama Takashi | Semiconductor Leading Edge Technology Inc., 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan

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概要

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• Semiconductor Leading Edge Technology Inc., 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japanの論文著者

関連著者

• Nara Yasuo

  Semiconductor Leading Edge Technologies Inc.

• Aoyama Takashi

  Semiconductor Leading Edge Technology Inc., 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan

• Ono Tetsuo

  Semiconductor Leading Edge Technology Inc., 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan

著作論文

• Etch Profile Control of W/TiN/HfSiON and W/TaSiN/HfSiON Full-Metal Gates

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