Denpoh Kazuki | ESD Development Department, Tokyo Electron AT Ltd., 2381-1 Kitagejo, Fujii-cho, Nirasaki 407-8511, Japan

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概要

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• 同名の論文著者
• ESD Development Department, Tokyo Electron AT Ltd., 2381-1 Kitagejo, Fujii-cho, Nirasaki 407-8511, Japanの論文著者

関連著者

• Nanbu Kenichi

  Institute For Fluid Science Tohoku University

• Wakayama Go

  Institute Of Fluid Science Tohoku University

• Denpoh Kazuki

  ESD Development Department, Tokyo Electron AT Ltd., 2381-1 Kitagejo, Fujii-cho, Nirasaki 407-8511, Japan

著作論文

• Sheath Model for Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas

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