Vawter G. | Sandia National Laboratories, PO Box 5800, Albuquerque, NM 87185, U.S.A.

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概要

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Sandia National Laboratories, PO Box 5800, Albuquerque, NM 87185, U.S.A. | 論文

• Reactive Ion Beam Etching of In-Containing Compound Semiconductors in an Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma

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