KATOH Kazuhisa | Research & Development Lab., Stanley Electric Co. Ltd.

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概要

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• Research & Development Lab., Stanley Electric Co. Ltd.の論文著者

Research & Development Lab., Stanley Electric Co. Ltd. | 論文

• Effects of rf Power and Substrate Temperature on Properties of a-SiN_x:H Films Prepared by Glow-Discharge of SiH_4-N_2-H_2

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