HORIKAWA Mitsuhiro | ULSI Device Develoμment Division, NEC Corporation

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概要

• 同名の論文著者
• ULSI Device Develoμment Division, NEC Corporationの論文著者

関連著者

• TERASHIMA Koichi

  Silicon Systems Research Laboratories. NEC Corporation

• HORIKAWA Mitsuhiro

  ULSI Device Develoμment Division, NEC Corporation

• TERASHIMA Koichi

  Silicon Systems Research Laboratories, NEC Corporation

著作論文

• Comparison of Iron Gettering Effectiveness in Silicon between Ion-Implantation-Induced Damage and Poly-Crystalline Silicon

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