Kumagai Shinya | Intelligent Nano-Process Laboratory, Institute of Fluid Science, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan

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• Intelligent Nano-Process Laboratory, Institute of Fluid Science, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japanの論文著者

Intelligent Nano-Process Laboratory, Institute of Fluid Science, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan | 論文

• Highly Anisotropic and Corrosionless PtMn Etching Using Pulse-Time-Modulated Chlorine Plasma

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