Hayashi Toshihiko | SiXON Ltd., 47 Umezu-Takasecho, Ukyo, Kyoto 615-0906, Japan

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SiXON Ltd., 47 Umezu-Takasecho, Ukyo, Kyoto 615-0906, Japan | 論文

• Defect Distribution in N-Doped and Semi-Insulating 6H-SiC Bulk Single Crystal Wafers Observed by Two- and Three-Dimensional Light Scattering Tomography

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