Sakamoto Hitoshi | Advanced Technology Research Center, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd., 1-8-1 Sachiura, Kanazawa-ku, Yokohama 236-8515, Japan

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Advanced Technology Research Center, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd., 1-8-1 Sachiura, Kanazawa-ku, Yokohama 236-8515, Japan | 論文

• Metal Chloride Reduction Chemical Vapor Deposition for Ta, Mo and Ir Films

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