Furihata Jun-Ichiro | Thin Film SOI Group.Process Engineering Dept.Isobe R&D Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.

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概要

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• Thin Film SOI Group.Process Engineering Dept.Isobe R&D Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.の論文著者

Thin Film SOI Group.Process Engineering Dept.Isobe R&D Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 論文

• Heavy-Metal(Fe/Ni/Cu)Behavior in Ultrathin Bonded Silicon-On-Insulator(SOI)Wafers Evaluated Using Radioactive Isotope Tracers
• Heavy Metal(Cu/Fe/Ni) Behavior in Ultra thin Bonded SOI Wafers Evaluated by Using Radioactive Isotope Tracers

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