Matsuda Akihisa | Electrotechnical Laboratory, 1–1–4 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305, Japan

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Electrotechnical Laboratory, 1–1–4 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305, Japan | 論文

• Electron and Ion Energy Controls in a Radio Frequency Discharge Plasma with Silane

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