Katsumata Ryota | Advanced Semiconductor Devices Research Labs., R&D Center, Toshiba Corp.

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概要

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• Advanced Semiconductor Devices Research Labs., R&D Center, Toshiba Corp.の論文著者

Advanced Semiconductor Devices Research Labs., R&D Center, Toshiba Corp. | 論文

• Ab Initio Molecular Orbital Study of Suppression of Water Absorption and Hydrolysis(F-Removal)of Chemical-Vapor-Deposited SiOF Films by Nitrogen Doping

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