Whang Soon-Hong | Central Research Center, Hyundai Microelectronics Co., Ltd., 1 Hyangjeong-Dong, ChungJu 360-480, Korea

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Central Research Center, Hyundai Microelectronics Co., Ltd., 1 Hyangjeong-Dong, ChungJu 360-480, Korea | 論文

• Conformality of Chemical-Vapor-Deposited Tungsten on TiN Prepared by Metal-organic Chemical Vapor Deposition via Cyclic Plasma Treatment

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