古賀 宣吉[他] | 岡理大・理

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概要

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岡理大・理 | 論文

• 30p-ZN-9 シリコン中の水素の低温拡散
• 28a-D-13 Si中の水素-炭素複合体の再結合促進分解反応
• 29p-K-13 シリコン中の水素-炭素複合体の形成過程
• 24a-T-7 Si中の水素に関係した欠陥の光照射下での消滅過程
• 2p-Z-13 化学エッチングによりn型Si中に導入される欠陥

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