Oh Moon-Su | Technology Research Center, Agency for Defense Development, Yusong P. O. Box 35-5, Taejon 305-600, Korea

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Technology Research Center, Agency for Defense Development, Yusong P. O. Box 35-5, Taejon 305-600, Korea | 論文

• Data Averaging Effect on Roughness Measurement using Phase-Shifting Interferometry for a Few-Ten-Angstrom and Sub-Angstrom Rough Surfaces

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