浅海 慎五 | 東京応化工業(株)

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概要

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• 東京応化工業(株)の論文著者

東京応化工業(株) | 論文

• 超LSI製造の高機能レジストおよび特殊現像液による微細加工の新展開
• ポジ型レジスト特性に及ぼす溶剤の影響
• レジストの使い方 (レジスト(技術ノ-ト))
• 高解像度レジスト (「高機能・高性能有機材料」)
• フォトレジスト技術の最近の進歩

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