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Shibahara Kentaro | The Reserch Center for Nanodevices and Systems, Hiroshima University
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The Reserch Center for Nanodevices and Systems, Hiroshima Universityの論文著者
The Reserch Center for Nanodevices and Systems, Hiroshima University | 論文
Fabrication of 100 nm Width Fine Active-Region Using LOCOS Isolation(Special Issue on Advanced Sub-0.1μm CMOS Devices)
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