中村 元一 | 並木精密宝石(株)

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概要

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並木精密宝石(株) | 論文

• 集束イオンビーム加工によるサファイヤ基板上のナノステップ制御
• ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の開発とそのデバイス応用
• 原子ステップ基板上への酸化物エピタキシャル薄膜のPLD室温成長とナノ構造構築
• GaN結晶の高効率基板加工に向けたCMP前工程の検討
• 24aCC-4 α-Al_2O_3(0001)表面の構造相転移とステップ形状(24aCC 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))

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