篠田 健太郎 | (独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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概要
関連著者
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土屋 哲男
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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篠田 健太郎
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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中島 智彦
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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土屋 哲男
(独)産業技術総合研究所
著作論文
- 塗布光照射法によるナノエピタキシャル酸化物膜の作製と応用 (特集 ナノ構造セラミックス)
- 塗布光照射法による機能性酸化物薄膜の低温成長 (小特集 塗布型成膜技術の今後の展望)
- 塗布光照射法による機能性酸化物薄膜の低温成長