関根 誠 | 名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
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概要
名古屋大学プラズマナノ工学研究センター | 論文
- 6. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造プロセスにおけるフルオロカーボンプラズマ(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 磁気中性線放電(NLD)プラズマによるエッチング技術
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- NLDプラズマによる光デバイス材料のエッチング技術 (特集 オプトエレクトロニクスの最新成果を追う)
- 低圧, 高密度NLDプラズマと有機Low-kエッチングプロセス