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畑 雅恭 | 中部大学 工学部
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中部大学 工学部 | 論文
MOCVD法によるRuO2およびIrO2薄膜の強誘電体下部電極としての特性
MOCVD法により生成したTa2O5薄膜の電気伝導
MOCVD法により生成したTa2O5-Al2O3混合膜の性質
CVDおよびスパッタリング法による酸化タンタル薄膜の性質
ZnSeのLPE層の電気的特性
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