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小川 博紀 | (株)日立製作所
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(株)日立製作所の論文著者
関連著者
小川 博紀
(株)日立製作所
著作論文
(3)機構特性変動を考慮した精密位置決めステージ制御系のモデルベース設計手法の開発(技術奨励,日本機械学会賞〔2011年度(平成23年度)審査経過報告〕)
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