Teraoka Y | Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

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概要

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• 同名の論文著者
• Microelectronics Research Laboratories Nec Corporationの論文著者

関連著者

• Teraoka Y

  Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

• NISHIYAMA I

  Microelectronics Research Laboratories, NRC Corporation

著作論文

• SUBSTRATE TEMPERATURE DEPENDENCE IN TRANSLATIONAL ENERGY INDUCED ETCHING OF Si (100) BY Cl_2 MOLECULARBEAMS

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