藤本 和久 | 富山大 大学院医学薬学研究部 薬化学研究室
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概要
論文 | ランダム
- An Atomic Scale Model of Multilayer Surface Reactions and the Feature Profile Evolution during Plasma Etching
- マイクロプラズマスラスターの研究開発 (特集 宇宙高温工学)
- 誘導結合型フルオロカｰボンプラズマを用いた高誘電率HfO_2薄膜のエッチング
- 半導体プラズマプロセスシミュレーションとTCAD
- プラズマCVDと溶媒処理を用いたフルオロカーボン系多孔質構造Low-K薄膜の作成