緒方 潔 | 日新電機 技術開研 材料・プロセス研セ
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概要
関連著者
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緒方 潔
日新電機 技術開研 材料・プロセス研セ
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緒方 潔
日新電機
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三上 隆司
日新電機(株)技術開発研究所
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日新電機 技術開研 材料・プロセス研セ
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日新電機 (株)
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上條 栄治
日新電機 (株)
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緒方 潔
日新電機 (株)
著作論文
- フィルタードアークイオンプレーティング法により形成したDLC膜のナノメータスケールの機械特性
- 真空アーク法によるカーボン薄膜の形成とその特性
- P-CVD法により作製したB-Si-N系セラミックス薄膜の諸特性