竹内 昌治 | 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター
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概要
東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター | 論文
- 温度制御転写における自動位置補正技術
- 温度制御転写における自動位置補正技術
- 2A1-N-080 微小力計測センサを用いたマイクロマニピュレータの力覚システム(マイクロナノ作業1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 2P1-N-087 感覚毛型センサを用いた角加速度計測の研究(MEMSとナノテクノロジー2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 1007 マイクロ・ナノ転写法によるパターニング評価(OS13-5 機械要素とトライボロジー(5),オーガナイズドセッション:13 機械要素とトライボロジー)