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Fujinaga Masashi | O Kawasaki Steel Corporation Technical Research Division:(present Address) Technical Research Divisi
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O Kawasaki Steel Corporation Technical Research Division:(present Address) Technical Research Divisi | 論文
Preparation of (Fe/Fe-N)/(Si-O) and (Fe/Fe-N)/(Si-N) Multilayered Films by Sputtering, ECR Plasma Nitridation and ECR Plasma CVD
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