新井 初雪 | スピードファム株式会社

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概要

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• 同名の論文著者
• スピードファム株式会社の論文著者

関連著者

• 新井 初雪

  スピードファム株式会社

• 杉山 美寿男

  スピードファム(株)

著作論文

• 大口径ベアウェーハーの平坦化研磨技術(半導体デバイスの平坦化技術)
• スピ-ドファム CMP装置「AURIGA」 (特集 半導体工場への本格導入始まるCMP技術) -- (CMP装置編)
• インサイチュウドレッシングによるCMPプロセスの安定化
• プラナリゼーション技術における終点検出法
• デバイス用エッジポリッシング装置 (特集 CMP/平坦化技術の最新動向) -- (CMP/平坦化装置編)

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