外谷 栄一 | Toshiba Ceramics Co., Ltd.

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概要

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関連著者

• 外谷 栄一

  Toshiba Ceramics Co., Ltd.

著作論文

• "クリア-カ-ボン"SiC膜の高温耐食性 (〔日本ファインセラミックス協会3部会合同〕ポスタ-セッション(2)(平成9年2月27日))
• 半導体製造プロセスを支えるファインセラミックス

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