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Kircher Roland | Laboratory For Microelectronics Research Institute Of Electrical Communication Tohoku University : (
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Laboratory For Microelectronics Research Institute Of Electrical Communication Tohoku University : ( | 論文
Fabrication of a Si_Ge_x Channel Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET) Containing High Ge Fraction Layer by Low-Pressure Chemical Vapor Deposition
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