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依田 健司 | オリオン機械
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関連著者
中田 義朗
Aset
三宅 直己
ASET
涌井 正幸
オリオン機械
持沢 正人
オリオン機械
依田 健司
オリオン機械
著作論文
C132 蒸発潜熱冷却を用いた15kW発熱300mm半導体ウェーハの温調装置開発(OS-7:電子機器における熱流動現象(III))
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