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大竹 輝徳 | 静岡県工業技術センター
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静岡県工業技術センターの論文著者
関連著者
沖 猛雄
名古屋大学
桑野 三郎
静岡県静岡工技セ
桑野 三郎
静岡県工業試験場
大竹 輝徳
静岡県工業技術センター
桑野 三郎
静岡県工業技術センター
著作論文
スパッタリングによるSiC薄膜の特性に及ぼす窒素ガス添加の影響
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