Park Hyun | Chemical And Biomolecular Eng. Dept. Biochip & Biodevice Lab. Korean Advanced Inst. Of Science A
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概要
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Chemical And Biomolecular Eng. Dept. Biochip & Biodevice Lab. Korean Advanced Inst. Of Science A | 論文
- A new patterning technique on UV sensitive transparent film with chip embedded photomask (Electron devices: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
- A new patterning technique on UV sensitive transparent film with chip embedded photomask (Silicon devices and materials: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))