伊賀 友樹 | 科学技術振興機構erato前中センシング融合プロジェクト

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概要

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• 同名の論文著者
• 科学技術振興機構erato前中センシング融合プロジェクトの論文著者

科学技術振興機構erato前中センシング融合プロジェクト | 論文

• 多層集積化MEMSのためのハイブリッドウエハに関する研究
• 圧電薄膜要素の多段直列接続によるセンサ出力電圧の増倍
• 高アスペクト比シリコンナノニードルの作製
• PZT薄膜を用いた振動型加速度センサに関する基礎研究
• PZT誘電ボロメータ型温度センサ

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