斎藤 智浩 | (財)ファインセラミックスセンター

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概要

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• (財)ファインセラミックスセンターの論文著者

関連著者

• 斎藤 智浩

  (財)ファインセラミックスセンター

• 幾原 雄一

  東京大学大学院工学系研究科

• 平山 司

  (財)ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所

• 石川 由加里

  Japan Fine Ceramics Center

• 柴田 典義

  Japan Fine Ceramics Center

著作論文

• 遷移金属/アルミナコ-ティング界面の格子の連続性
• Au-Si界面反応のTEMによるその場観察
• 25p-K-14 シリコン薄膜を用いた振幅分割型電子線3波干渉法による電場観察
• SiO2層中にSi柱が存在するSIMOXウエハ-中へのAu,AuSixピラミッドの形成

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