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永田 純 | 日立工機 (株) 勝田研究所
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関連著者
町田 治
日立工機 (株) 勝田研究所
永田 純
日立工機 (株) 勝田研究所
能登 信博
日立工機 (株) 勝田研究所
森 金太郎
日立工機 (株) 勝田研究所
著作論文
水素イオンを用いたイオンビームスパッタ装置によるTiC膜
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