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牛久保 浩司 | 精密機械工学科
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坂本 幸弘
千葉工大
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精密機械工学科
高谷 松文
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坂本 幸弘
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精密機械工学科
坂本 幸弘
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牛久保 浩司
千葉工業大学
著作論文
マイクロ波プラズマCVDによるSi基板上へのダイヤモンド合成におけるH2プラズマ前処理の影響
パルスマイクロ波プラズマCVDによる微細粒ダイヤモンド膜の合成
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