上田 守正 | (株)ミツトヨ 川崎研究開発センター 計測技術室

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著作論文

• 真空レーザ干渉計内在の超精密端度器の誤差要因
• nmオーダ変位検出器の評価校正システムの開発
• 長さの精密測定, ナノメートルへの挑戦(限界に挑戦)

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