太田 嘉治 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社

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概要

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関連著者

• 太田 嘉治

  野村マイクロ・サイエンス株式会社

• 太田 嘉治

  野村マイクロ・サイエンス (株)

• 杉山 勇

  野村マイクロ・サイエンス株式会社

• 向阪 保雄

  大阪府立大学工学部化学工学科

• 向阪 保雄

  大阪府立大学

• 新居田 亨

  大阪府立大学工学部化学工学科

• 阿部 嗣

  野村マイクロ・サイエンス株式会社

• 稲垣 精一

  野村マイクロ・サイエンス株式会社

• 阿部 嗣

  野村マイクロ・サイエンス

著作論文

• 医薬品製造用水と膜技術 (先端膜技術--その基礎と応用-2-) -- (気体分離膜)
• ウエハサイズ6インチで0.5〜1.5m3/枚を使用 超純水技術 (超LSI製造のためのクリ-ンサポ-ト技術2題)
• 噴霧乾燥法による水中の細菌の計測
• EDIの実プラントへの適用例
• 東北大学電気通信研究所の超LSI用超純水システム (膜分離技術の水処理への応用) -- (実施例)

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