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平井 洋 | (株) コベルコ科研
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池田 孜
(株) 神戸製鋼所材料研究所
川手 剛雄
(株) 神戸製鋼所電子技術センター
平井 洋
(株) コベルコ科研
平井 洋
コベルコ科研
著作論文
Arc-like Plasmaイオンプレーティング法によるcBN薄膜の形成
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