尼子 淳 | セイコーエプソン(株)先端技術開発センター

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概要

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関連著者

• 尼子 淳

  セイコーエプソン

• 尼子 淳

  セイコーエプソン(株)先端技術開発センター

• 澤木 大輔

  セイコーエプソン(株)先端技術開発センター

著作論文

• Deep-UVレーザーを用いたサブ波長構造の創製 : 干渉露光法によるレジストパターニング(微細構造による光機能性界面の創出)

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