デンポウ カズキ | Researcher Tokyo Electron Ltd. Japan

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概要

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• 同名の論文著者
• Researcher Tokyo Electron Ltd. Japanの論文著者

関連著者

• ナンブ ケンイチ

  Professor Institute Of Fluid Science Tohoku University

• デンポウ カズキ

  Researcher Tokyo Electron Ltd. Japan

著作論文

• Detailed Modeling of Ion and Neutral Radicals in Radio-Frequency CF4 Discharge

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