Nagata Masaya | Functional Devices Research Laboratories Sharp Corporation

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概要

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Functional Devices Research Laboratories Sharp Corporation | 論文

• High-Temperature Etching of PZT/Pt/TiN Structure by High-Density ECR Plasma
• Fine-Grained SrBi_2Ta_2O_9 Thin Films by Low Temperature Annealing
• Fine-Grained SrBi_2Ta_2O_9 Thin Films by Low Temperature Annealing

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